-
1 Ionengetterpumpe
сущ.1) тех. сорбционно-ионный насос2) электр. ионно-геттерный насос3) микроэл. геттерно-ионный (вакуумный) насос -
2 sputter-ion pump
1) Техника: сорбционно-ионный насос, электроразрядный насос2) Бытовая техника: ионно-распылительный насос
См. также в других словарях:
ВАКУУМНЫЙ НАСОС — устройство для удаления газов и паров из замкнутого объёма с целью получения вакуума. В. н. делятся на проточные, к рые удаляют газ из откачиваемого объёма наружу, и сорбционные, связывающие газ внутри насоса. Существуют также спец.… … Физическая энциклопедия
ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА — получение, измерение и применение давлений порядка тысячной нормального атмосферного давления и более низких. Вакуумная техника, методы которой когда то не выходили за пределы научной лаборатории, в настоящее время применяется во многих отраслях… … Энциклопедия Кольера